한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)
- 제2권3호
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- Pages.355-359
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- 1993
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- 1225-8822(pISSN)
InSb 박막의 제작과 특성
The Properties and Fabrication of InSb Thin Film
초록
전자빔증착기를 이용하여 적외선영역에서 직접천이형 에너지갭을 갖는 III-V족 2원 화합물 반도체인 InSb 박막을 제작하여 전기, 자기적 특성을 조사하였다. 기판온도
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