Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 2 Issue 3
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- Pages.331-334
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- 1993
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- 1225-8822(pISSN)
Fabrication and Applications of Comb-Shaped Lateral Field Emitter Arrays
빗살무늬의 수평형 고압전자 방출장치의 구성과 응용
Abstract
여러 종류의 수직 또는 수평 형태의 field emitter array가 연구되었다. 그 중 수평형의 FEA는 emitter가 동일 평면 위에 구성되어 있고, gate는 고주파의 응용을 위하여서는 더욱 적합하다. 이 빗살 모양의 FEA의 구조, emission 성질, 응용에 대하여 설명한다.
Keywords