Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 2 Issue 1
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- Pages.78-84
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- 1993
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- 1225-8822(pISSN)
Growth of ZnSe/ZnSe(bulk) Epilayer by HWE Method
HWE 방법에 의한 ZnSe/ZnSe(bulk) 박막 성장
- Shin, Yeong-Jin (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
- Jeong, Tae-Soo (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
- Shin, Hyun-Keel (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
- Kim, Taek-Sung (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
- Jeong, Cheol-Hoon (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
- lee, Hoon (Department of Physics, Jeonbuk National University) ;
- Shin, Yeong-Shin (Department of Physics, Jeonbuk National University)
- 신영진 (전북대학교 물리학과) ;
- 정태수 (전북대학교 물리학과) ;
- 신현길 (전북대학교 물리학과) ;
- 김택성 (전북대학교 물리학과) ;
- 정철훈 (전북대학교 물리학과) ;
- 이훈 (전북대학교 물리학과) ;
- 신영신 (전북대학교 물리학과)
- Published : 1993.03.01
Abstract
Hot-Wall Epitaxy(HWE) 방법으로 ZnSe/ZnSe(bulk) 박막을 성장하였다. 이 때 사용되어진 ZnSe 기판은 승화법으로 증발부분의 온도를
Keywords