Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 2 Issue 1
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- Pages.58-64
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- 1993
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- 1225-8822(pISSN)
A Model for Atomic Transport at Low Temperature Ion Mixing
저온에서 이온선 혼합시 야기되는 원자이동에 대한 모형
Abstract
이온선혼합의 열충격으로 야기되는 등방저기 또는 이방적 원자이동을 정량적으로 묘사하기 위한 모형을 제시하였다. 불순문 확산에서 원자들의 이동비는 구성원자들의 활성화에너지에 의존한다. 이 모형은 0에 가까운 혼합열과 비교적 높은 활성화에너지를 가진 이중층들의 실험결과들을 만족스럽게 예견한다. 불순물 확산에서 구성원자들의 활성화에너지가 크게 차이가 나는 계들은 이방적 원자이동을 보여주는 반면, 비슷한 활성화에너지를 가지는 계들은 등방적 원자이동을 나타낸다.
Keywords