초록
당 연구실에서 개발 제작된 동적교정방법을 이용한 고진공표준기를 사용하여 10-6∼10-3torr 영역에서 가장 널리 쓰이는 spinning rotor gauge와 열음극전리 진공게이지들의 특성을 상품화되어 사용되는 방법대로 측정하여 조사하여 보았다. 게이지들의 직선성, 단기간(15일)에 행해진 반복측정에서의 scattering을 조사하였고 또한 N2, CO, He, H2, O2, Ar 가스에 대한 감도와 압력을 올릴 때와 내릴 때의 hysteresis를 조사하였다.