Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

The Study of Vacuum Gauge Characteristics in the High Vacuum Range

고진공 영역의 진공게이지 특성연구

  • 홍승수 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 임재영 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 박재홍 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 이철로 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원, 진공연구실)
  • Published : 1993.03.01
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Abstract

당 연구실에서 개발 제작된 동적교정방법을 이용한 고진공표준기를 사용하여 10-6∼10-3torr 영역에서 가장 널리 쓰이는 spinning rotor gauge와 열음극전리 진공게이지들의 특성을 상품화되어 사용되는 방법대로 측정하여 조사하여 보았다. 게이지들의 직선성, 단기간(15일)에 행해진 반복측정에서의 scattering을 조사하였고 또한 N2, CO, He, H2, O2, Ar 가스에 대한 감도와 압력을 올릴 때와 내릴 때의 hysteresis를 조사하였다.

Keywords