E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제6권4호
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- Pages.318-323
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- 1993
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
RF magnetron 스퍼터링과 급속 열처리에 의한$YBa_2Cu_3O_{7-x}$
Characteristics of rapid-thermal-annealed $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ superconducting thin-films grown by rf magnetron sputtering
초록
본 연구에서는 rf magnetron 스퍼터링으로 (100) 사파이어 기판에 퇴적시킨 YBa
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