A study on the velocity characteristics of surface acoustic wave in PSS-PZT ceramics

PSS-PZT계 세라믹스의 탄성표면파 속도특성에 관한 연구

본 논문에서는 0.05Pb(Sn$_{1}$2/Sb$_{1}$2/)-0.35PbTiO$_{3}$-0.60PbZrO $_{3}$+0.4[wt%] MnO$_{2}$ 조성을 갖는 3성분계 압전세라믹스에 Cr$_{2}$O$_{3}$ 의 첨가량을 변화시켜서 지연선을 제작하고 탄성표면파를 여기시켜 전파속도를 측정하였으며 EMMAS 기준에 따라 각 시편의 재료정수를 측정하고 이를 압전방정식에 적용하여 매질에 따라 여기되는 탄성표면파의 계산속도를 이론적으로 산출한 후 이를 지연선에서 측정된 실험속도와 비교하여 재료의 특성이 탄성표면파의 전파특성에 미치는 영향을 조사하였다. 그 결과 SAW 지연선에서 측정된 탄성표면파는 Generalized Rayleigh Wave였으며 재료의 특성이 우수한 시편일 수록 계산속도와 측정속도와의 차가 적었던 것으로 나타났고 오차한도는 평균 99.39[%]였으므로 실험속도 측정방법이 feed through 현상없이 우수한 측정방법이었음을 알 수 있었다.