한국광학회지 (Korean Journal of Optics and Photonics)
- 제4권4호
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- Pages.447-451
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- 1993
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- 1225-6285(pISSN)
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- 2287-321X(eISSN)
XeCl 엑시머 레이저에서의 Pulse Stretching 효과
Pulse Stretching Effect in XeCl Excimer Laser
- 주홍 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
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김동환
(한국과학기술연구원 정보전자연구부)
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- 이수만 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
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전영민
(한국과학기술연구원 정보전자연구부)
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- 최상삼 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 박대윤 (인하대학교 이과대학 물리학과)
- Chu, Hong (Div. of Electronic and Information Tech., KIST) ;
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Kim, Dong-Hwan
(Div. of Electronic and Information Tech., KIST)
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- Lee, Soo-Man (Div. of Electronic and Information Tech., KIST) ;
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John, Young-Min
(Div. of Electronic and Information Tech., KIST)
;
- Choi, Sang-Sam (Div. of Electronic and Information Tech., KIST) ;
- Park, Dae-Yoon (Department of Physics, Inha University)
- 발행 : 1993.05.01
초록
용량이행형 방전회로를 이용하여 장펄스 XeCl 엑시머 레이저를 발진 시켰으며, 펄스폭은 150ns(FWHM)이었다. 펄스폭에 영향을 미치는 가스분압 및 capacitance의 비에 따른 펄스폭의 변화를 관측 하였으며, 이로부터 단펄스에서 장펄스로의 발진을 쉽게 얻을 수 있음을 알았다. 일정 가tm 혼합 비율([Xe]/[HCl]=15)의 상태에서 HCl과 Xe가스의 분압이 감소함에 따라 광 펄스폭의 최대 변화량은 125ns이었고, 일정 압력 하에서의 capacitance비(Cm/Cp) 변화에 늘어나는 광 펄스폭의 변화량은 60ns이었다.
Long pulse XeCl excimer laser with 150 ns (FWHM) pulse duration is developed using a simple capacitor-charge transfer circuit. We measured the laser pulse width varying the gas mixture ratio and capacitance ratio, which dominantly affect the pulse width. In this way we can easily stretch the pulse width from short pulse to long pulse. The pulse width was stretched by 120 ns as the partial pressure of HC1 and Xe gas was reduced under constant gas mixture ratio ([Xe]/[HCl]= 15), and by varying the capacitance ratio (Cm/Cp) under fixed pressure, the pulse width was stretched by 60 ns.
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