Micromachining기법으로 제작된 정전형 마이크로모터의 기술동향

마이크로 모터는 미소기계장치에서 중요한 actuator가 될 수 있음은 물론 자체로도 여러가지 응용을 생각할 수 있다. 여컨대 밀폐시킨 캡슐내에 마이크로모터를 제작하고 그 회전수를 조절함으로써 통로를 지나는 기체나 액체증의 유량을 조절하는 미세유량조절기를 제작할 수 있을 것이다.