전기의세계
- Volume 42 Issue 6
- /
- Pages.46-51
- /
- 1993
- /
- 1598-4613(pISSN)
펄스레이저를 이용한 박막 증착
Abstract
본 특집에서는 PLD장착 및 증착 방법을 2장에서는 소개하고 3장에서는 증착원리 및 특징을 4장에서는 PLD의 응용분야를 그리고 5장에서는 결론 및 향후 연구방향에 대하여 기술하였다.
Keywords
본 특집에서는 PLD장착 및 증착 방법을 2장에서는 소개하고 3장에서는 증착원리 및 특징을 4장에서는 PLD의 응용분야를 그리고 5장에서는 결론 및 향후 연구방향에 대하여 기술하였다.