장치산업에서 다변량 EWMA 공정제어와 통계적 공정감시

Multivariate Exponentially Weighted Moving Average(EWMA) Process Control and Statistical Process Monitoring in the Process Industry

  • 발행 : 1992.11.01

초록

본 논문은 장치산업에서 적용되는 다변량 EWMA 공정제어와 통계적 공정감시 통합시스템을 제안한다. 본 논문에서 제안한 통합시스템은 자동공정제어(APC)의 예측, 조정기능과 통계적 정정감시(SPM)의 이상점 발견 및 제거등의 각각의 장점을 이용하였다. 기존의 다변량 EWMA연구는 데이타간의 독립성을 가정하였으나 본 논문은 데이타간의 종속적인 형태인 IMA(1,1)모델을 대상으로 하였다.

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