전자공학회지 (The Magazine of the IEIE)

제19권5호
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Pages.35-46
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1992
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1016-9288(pISSN)

대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)

권호 표지

Lithography 기술 현황 및 향후 전망

전국진 (서울대학교) ;
오혜근 (한양대학교) ;
김성주 (금호석유화학(주) 연구소)

Jeon, Guk-Jin (Seoul National University) ;
O, Hye-Geun ;
Kim, Seong-Ju

발행 : 1992.05.01

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