전자공학회지 (The Magazine of the IEIE)
- 제19권5호
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- Pages.35-46
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- 1992
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- 1016-9288(pISSN)
Lithography 기술 현황 및 향후 전망
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Jeon, Guk-Jin
(Seoul National University) ;
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O, Hye-Geun
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- Kim, Seong-Ju
- 발행 : 1992.05.01