한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

초고진공용 건조질소 통풍장치

Dry Nitrogen Venting System for Ultra-high Vacuum

  • 이성수 (경북 포항시 790-600 포항공대 물리학과) ;
  • 유선일 (경북 포항시 790-600 포항공대 물리학과) ;
  • 정진욱 (경북 포항시 790-600 포항공대 물리학과) ;
  • 정석민 (경북 포항시 790-600 포항공대 물리학과)
  • 발행 : 1992.10.01
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초록

초고진공 시스템에 있어서 시스템을 대기압으로 바람을 넣은 후 정상상태로의 신 속한 원상회복을 위하여 건조질소 통풍(venting) 장치를 고안 제작하였다. 이 장치는 액체 질소 저장통, 증발기 및 여과기로 구성되어 있다. 이 장치에 의한 통풍효과와 다른 방법에 의한 통풍효과를 가스 방출률 측정을 통하여 정성적으로 비교 분석하였을 때, 본 장치가 가 장 낮은 가스 방출률과 가장 빠른 진공회복을 보여주었다.

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