한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Ionizied Cluster Beam 방법으로 제작된 Polyimide 박막의 화학적 성질과 결정성

Chemical and Crystalline Properties of Polyimide Film Deposited by Ionized Cluster Beam

  • K.W. Kim (Department of Physics, Yonsei University, Seoul 120-749, Korea) ;
  • S.C. Choi (Department of Physics, Yonsei University, Seoul 120-749, Korea) ;
  • S.S. Kim (Department of Physics, Yonsei University, Seoul 120-749, Korea) ;
  • S.J. Cho (Department of Physics, Kyungsung University, Pusan 608-736, Korea) ;
  • S.Y. Hong (Ames Lab Iowa State University, Ames IA U.S.A) ;
  • K.H. Jeong (Department of Physics, Yonsei University, Seoul 120-749, Korea) ;
  • J.N. Whang (Department of Physics, Yonsei University, Seoul 120-749, Korea)
  • 발행 : 1992.02.01
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초록

Ionized Cluster Beam(ICB) 방법을 이용하여 Polyimide(PI) 박막을 증착시켰다. 증 착된 PI 박막의 결정성과 이미드화의 정도를 투과전자현미경(TEM)과 적외선 분광 스펙트럼 (FT-IR)을 이용하여 분석하였다. 최적의 조건에서 증착된 PI 박막은 이미드화가 최대로 증 가하였고 결정구조를 가짐을 관찰할 수 있었다. 이것은 다른 방법으로 제작된 PI 박막과 비 교할 때 훨씬 우수한 것이다.

Abstract-Polyimide (PI) thin films were deposited by the ionized cluster beam deposition (ICBD) technique. Imidization and crystallization of PI films were investigated using transmission electron microscopy (TEM) and Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR). PI films deposited under optimum conditions showed a maximum imidization and good crystal structure, which are superior to those of the films fabricated by other techniques.

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