금속 단결 정면에 증착된 층의 두께측정

Thickness Measurement of Overlayer Deposited on Single Crystal

표면 연구에서 단결정면 위에 진공 증착된 층의 두께를 측정하는 일은 쉽지 않다. 지금까지 몇 가지 측정방법들이 알려지고 있으나 이들 방법은 섬세한 고가장비를 필요로 한 다. 본 연구에서는 단순히 Auger 스펙트럼을 이용하여 두께를 측정할 수 있는 간단한 방법 을 제안하고 있다. 또한 구리 단결정면 위에 증착된 철 원자의 두께 측정에 관한 예가 제시 되고 있다.

It is not easy to determine the coverage of deposited overlayers on a single crystal. There are several techniques determining the overlayer thickness. We propose, in this study, a new simple method by using Auger spectra only without any sophisticated thickness monitor. An example of iron overlayers on copper single crystals is also showed.