Thickness Measurement of Overlayer Deposited on Single Crystal

금속 단결 정면에 증착된 층의 두께측정

It is not easy to determine the coverage of deposited overlayers on a single crystal. There are several techniques determining the overlayer thickness. We propose, in this study, a new simple method by using Auger spectra only without any sophisticated thickness monitor. An example of iron overlayers on copper single crystals is also showed.

표면 연구에서 단결정면 위에 진공 증착된 층의 두께를 측정하는 일은 쉽지 않다. 지금까지 몇 가지 측정방법들이 알려지고 있으나 이들 방법은 섬세한 고가장비를 필요로 한 다. 본 연구에서는 단순히 Auger 스펙트럼을 이용하여 두께를 측정할 수 있는 간단한 방법 을 제안하고 있다. 또한 구리 단결정면 위에 증착된 철 원자의 두께 측정에 관한 예가 제시 되고 있다.