E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제5권4호
- /
- Pages.400-405
- /
- 1992
- /
- 2982-6268(pISSN)
- /
- 2982-6306(eISSN)
활성화 반응성 증착법에 의한 ${In_2}{O_3}$ 박막성장 및 특성
The characterization of ${In_2}{O_3}$ thin films prepared by activated reactive evaporation method
초록
활성화 반응성 증착법으로 비저항 1.7*
키워드