Electrical & Electronic Materials (E2M - 전기 전자와 첨단 소재)
- Volume 5 Issue 3
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- Pages.310-319
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- 1992
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
A study on microstructure and electrical properties of LPCVD polysilicon
다결정 실리톤의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
Abstract
LPCVD 방법으로 625.deg.C와 560.deg.에서 증착한 다결정 실리콘에 As이온주입량을 lx
Keywords