광학식 NC-스케일 제조기술의 개발

Development of Optical NC-Scales Fabrication Process

수치제어 공작기계와 로보트 등에서의 위치판독장치는 핵심적인 자동화부품이다. 수치제어용 위치판독장치인 광학식 에코더의 제조기술의 국산화를 위하여 부분 공정을 개발하였다. Microlithography 가공기술을 이용하여 유리 기저판 위에 정밀눈금을 가공하였다. 눈금가공 공정은 많은 단계의 과정을 거쳐 이루어 진다. 박막두계, 수지코팅, 건조온도, 노광시간, 부식시간 등 공정변수들의 최적조건을 찾아내고 각 공정변수에 따른 눈금품직과의 관계를 규명하였다.

Position reading devices such as optical encoders are most essential components in numerical control (NC) machines and robots. Fabrication process of optical NC-scales was developed for domestic production. The whole process using photo-lithographic techniques consists of about 10 steps. The process parameters were to be carefully determined through many trial experiments. The scale marks of metal film was printed on a glass substrate. The optimum values of various process parameters were extrilcted. The quality of scale marks was attributed to the each process parameters.