Fourier transform method of surface topography and interferometry

푸리에 변환을 이용한 파면위상의 복구

The fourier transform method of retrieving the phase of the test wavefront from a Twyman-Green interferometer was reviewed by numerical simulations and experiments. Of the two methods reviewed, Takeda's approach proved more reliable in reconstructing the deformation of the test surface. The application of this approach to a plane mirror showed the existence of the surface curvature, whose maximum deviation was about $\lambda$/6. The accuracy in the measurement was evaluated to be around $\lambda$/40.

Twyman-Green형 간섭계의 시험파면의 변형을 추출하기 위하여 fourier변환을 이용하는 방법을 모사실험과 실험을 통하여 검토하였다. 대상 방법중에서는 Takeda의 방법이 변형을 추출하는 용도로 적절함이 밝혀졌다. 이 방법을 평면경에 적용하여 얻은 표면의 구조에는 curvature가 존재하며, 그 크기는 $\lambda$/6정도였다. 이 축정의 정확도는 $\lambda$/40정도로 얻어져, 기 발표된 유사연구의 결과보다 그 정도가 높음을 확인하였다.