초록
완전비접촉부상, 비접촉구동을 실현하는 크린룸용 자기부상반송시스템을 소개하였다. 이 시스템은 스테이션과 각 프로세스장치 사이의 loading/unloading에는 인간이 개입하지만, 스테이션과 각 프로세스장치를 직접 접속하고 loading/unloading도 자도화하면 무인의 완전 무진자동반송시스템을 실현할 수 있을 것이다. (이와같은 문제점을 개선시킨 시스템을 Sumitomo가 개발하여 발효하였고 이에 대해서는 참고문헌를 참고하기를 바란다).