마이크로 박막 센서의 기술동향

본고는 일본 Paress Journal사에서 간행된 <'90박막응용전자 디바이스) 지[1] 및 최근의 마이크로 센서 관련 보고[2-4]들을 토대로 박막형 마이크로 센서의 최신 관련기술 및 연구동향을 요약, 정리한 것이다.