Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회논문집)

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)
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Precision Profile Measurement of Mirror Surfaces by Phase Shifting Interferometry

광위상간섭에 의한 경면의 정밀 형상측정

  • 김승우 (한국과학기술원 정밀공학과) ;
  • 공인복 (한국종합기계(주) FA사업부) ;
  • 민선규 (한국과학기술연구원 기계공학부)
  • Published : 1992.08.01
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Abstract

An optical method of phase shifting interferometry is presented for the 3-dimensional profile measurement of mirror surfaces with nanometer resolution. A series of optical interferometric fringes are generated by comparing the surface to be measured with a reference flat. The fringes are captured by a CCD camera and then analyzed to obtain actual surface profile. Detailed principles are described along with necessary image processing algorithms. finally, several measurement examples are discussed which were performed on lapped surfaces, hard discs, and semiconductor wafers.

본 연구에서는 초정밀 경면의 표면형상을 비접촉식으로 측정하기 위한 광위상 간섭법(phase shifting interferometry)에 관한 연구결과를 기술하였다. 리닉(lin- nik) 광학계를 이용한 광위상간섭에 대한 기본 측정원리를 정립하고 표면측정을 위한 간섭무늬처리 영상해석 알고리즘을 개발하였다. 그리고 실제적인 경면의 측정을 통 하여 개발한 광학계 및 측정 알고리즘의 타당성을 검증하였다.

Keywords