Flow Velocity and Mass Measurement Sensor of Constant Temperature Type

정온도형 유속 및 유량 측정센서

A constant temperature type of flow sensor using a solid state micromachining technology was developed for measuring the velocity of gas or liquid. It was designed to detect only the heat convection related to flow velocity. Other heat transfer terms and common mode interferences are canceled by differentiating both reference and exposed flow sensor. It employs the principle that the change of current through the sensing element can be used to measure the flow velocity. An experimental study of the behavior on this flow sensor was performed in a narrow tube(diameter : 8mm) for city water. The relation between power consumption of the flow sensor and square-root of flow velocity is almost linear in the low velocity range(0-200 cm/sec).

기체와 액체의 유숙을 측정하기 위한 반도체 기술을 이용한 소형의 정온도형 유속센서가 제작되었다. 유속센서는 유속에 영향을 받는 대류 열전달만을 검출하도록 설계되었고, 다른 종류의 열전달과 간섭효과는 기준센서의 사용으로 상쇄되도록 하였다. 원리는 유동에 의한 센서 양단전류의 변화로 유속을 측정하는 것이다. 이 유속센서의 실험은 수돗물로 가는 관(지름 8mm)을 사용하여 수행되었다. 그 결과 센서의 소비전력과 유속의 제곱근 사이의 관계는 유속이 0-200cm/sec 범위에서 거의 선형으로 나타났다.