RTA에 의한 $As^+$ 이온주입된 비정질층의 재결정화 연구

• Kim, Sang-Gi ;
• Koak, Byung-Hwa ;
• Lee, Sang-Hwan ;
• Jhung, Sung-Hwa ;
• Kwon, Oh-Joon

• 김상기 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
• 곽병화 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
• 이상환 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
• 정성화 (한국전자통신연구원 물성분석연구실) ;
• 권오준 (한국전자통신연구원 물성분석연구실)

• Published : 1991.07.01

• PDF