한국음향학회지 (The Journal of the Acoustical Society of Korea)
- 제10권3호
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- Pages.19-30
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- 1991
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- 1225-4428(pISSN)
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- 2287-3775(eISSN)
SAW를 이용한 반절연 GaAs웨이퍼 표면 성질의 비파괴 측정
Nondestructive Evaluation of Semi-Insulating GaAs Wafer Surface Properties Using SAW
- 발행 : 1991.06.01
초록
SAW와 반도체가 상호작용할 때 발생되는 횡음전전압을 이용하여 반절연 GaAs 웨이퍼 표면의 에너지 갭, 엑시톤, 얕은 준위 트랩, 깊은 준위 트랩, 어닐링 후의 형반전,
The surface properties such as energy gap, exciton, shallow trap level, deep trap level, type inversion with annealing and metastable state of
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