E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제4권4호
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- Pages.312-321
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- 1991
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
초고진공시스템의 실현에 관한 연구
A study on the actualization of ultra-high vacuum system
초록
본 논문은 3단배기계의 구성으로
키워드
본 논문은 3단배기계의 구성으로