E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)

  • 제4권4호
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  • Pages.312-321
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  • 1991
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  • 2982-6268(pISSN)
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  • 2982-6306(eISSN)
한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

초고진공시스템의 실현에 관한 연구

A study on the actualization of ultra-high vacuum system

  • 백용현 (인하대학교 전기공학과) ;
  • 이복희 (인하대학교 전기공학과) ;
  • 전덕규 (인하대학교 전기공학과)
  • 발행 : 1991.12.01
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초록

본 논문은 3단배기계의 구성으로 $10^{-7}$[Torr]이하의 진공도를 얻을 수 있는 초고진공시스템을 시제작하고 이에 대한 동적 특성과 유지 및 관리방법에 대하여 기술하였다. 초고진공배기계의 구성에 있어서는 진공재료와 부품의 선정, 펌프조합, 다단식 펌프조합, 탈가스처리와 잔류기체의 성분분석이 대단히 중요함이 밝혀졌다. 또한 진공용기의 내표면의 공기중에의 노출은 배기성능을 대단히 저하시키게 된다. 본 연구결과와 관련기술은 각종 실험장치의 배기계의 최적화 설계는 물론이고 다용도로 이용될 것이다.

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