E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제4권1호
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- Pages.38-44
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- 1991
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
초박막 유전체/실리콘 계면에서의 전자파 간섭 효과
The interference effect of electronic waves(EWIE) in the ultra thin dielectric/silicon interface
초록
본 연구는 전기로에 의한 열 산화법에 의해 SiO
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