비축상 OTF의 정밀측정

Precision Measurement of Off-AXIS OTF

칼날주사형 OTF 측정장치를 개선하여 비축상 OTF 측정 정확도를 향상시켰으며 SIRA 연구팀이 개발한 50mm 평면-볼록형 표준렌즈를 사용하여 OTF 측정장치의 성능을 평가하였다. 공간 주파수 0~100 cm / mm 영역에서 표준렌즈의 MTF 측정값은 극소수의 공간 주파수를 제외하고 축상에서 $\pm$0.02, 비축상에서 $\pm$0.03 이내에서 SIRA 측정값과 일치하였으며 PTF 측정값은 SIRA 측정값과 $\pm$$5^{\circ}$이내에서 일치하였다.

The knife-edge scanning type OTF measuring equipment is improved to enhance the accuracy in off-axis OTF measurement and the accuracy of this equipment of evaluated by measuring the OTF of 50 mm plano-convex standard lens developed by SIRA group. Measured MTF values of the standard lens are in good agreement with SIRA results within $\pm$0.02 on axis and % $\pm$0.03 off-axis in 0-100 clmm frequency range except only a few spatial frequencies. Measured PTF values are good agreement with SIRA results within $\pm$$5^{\circ}$.