Electronics and Telecommunications Trends (전자통신동향분석)
- Volume 5 Issue 2
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- Pages.129-136
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- 1990
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- 1225-6455(pISSN)
DOI QR Code
광노광을 위한 투영광학계의 기술분석
- Lee, Jong-Hyeon ;
- Bae, Nam-Jin ;
- Jeon, Chi-Hun ;
-
Chang, Won-Ik
;
- Lee, Yong-Il ;
- Kim, Yun-Tae ;
- Kim, Sang-Ho ;
- Kim, Bo-Woo
- 이종현 (공정장비연구실) ;
- 배남진 (공정장비연구실) ;
- 전치훈 (공정장비연구실) ;
-
장원익
(공정장비연구실)
;
- 이용일 (공정장비연구실) ;
- 김윤태 (공정장비연구실) ;
- 김상호 (공정장비연구실) ;
- 김보우 (공정장비연구실)
- Published : 1990.07.01
Abstract
Keywords