Electronics and Telecommunications Trends (전자통신동향분석)

Volume 5 Issue 1
/
Pages.3-14
/
1990
/
1225-6455(pISSN)

Electronics and Telecommunications Research Institute (한국전자통신연구원)

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투영노광장치용 고속.고정밀 Stage계의 연구동향

장원익 (공정장비연구실) ;
이용일 (공정장비연구실) ;
김보우 (공정장비연구실)

Published : 1990.04.01

https://doi.org/10.22648/ETRI.1990.J.050101 Citation PDF

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Abstract

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