대한전자공학회논문지 (Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics)
- 제27권11호
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- Pages.62-68
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- 1990
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- 1016-135X(pISSN)
소형 Si 압력센서의 제작 및 특성 평가
Fabrication and Characterization of Miniature Si Pressure Sensor
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주병권
(韓國科學技術硏究院 光
${\cdot}$ 電技術센터) ; -
이명복
(韓國科學技術硏究院 光
${\cdot}$ 電技術센터) ; -
이정일
(韓國科學技術硏究院 光
${\cdot}$ 電技術센터) ; - 김형곤 ;
-
강광남
(韓國科學技術硏究院 光
${\cdot}$ 電技術센터) ; -
오명환
(韓國科學技術硏究院 光
${\cdot}$ 電技術센터)
- Ju, Byeong-Kwon (Optics & Electronics Center, KIST) ;
- Lee, Myoung-Bok (Optics & Electronics Center, KIST) ;
- Lee, Jung-Il (Optics & Electronics Center, KIST) ;
- Kim, Hyoung-Gon (Optics & Electronics Center, KIST) ;
- Kim, Kwang-Nham (Optics & Electronics Center, KIST) ;
- Oh, Myung-Hwan (Optics & Electronics Center, KIST)
- 발행 : 1990.11.01
초록
표준 Si 공정기술을 이용하여 칩의 크기가
On the basis of standard Si processing, the miniaturized piezoresistive-type Si pressure sensor with a chip size of
키워드