MOVPE 단결정층 성장층 성장법 I. 화합뭉 반도체 재료, 전자소자 및 단결정층 성장법

Metal-Organic Vapor Epitaxt : A Review I. Compound Semiconductors, devices, and epitaxies

  • 정원국 (성균관 대학교 재료 공학과)
  • 발행 : 1990.03.01