Electrical & Electronic Materials (E2M - 전기 전자와 첨단 소재)
- Volume 3 Issue 2
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- Pages.115-122
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- 1990
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
A Study on the Improvement of the Dielectric Properties of Plasma Polymerized Methyl Methacrylate
플라즈마 중합 MMA의 유전특성 개선에 관한 연구
Abstract
플라즈마중합 에틸메타아크릴레이트(PPMMA) 박막의 유전특성인 유전정접(tan .delta.)과 정전용량(C)을 관측하고 산화와 열처리 및 플라즈마처리로 인한 PPMMA의 tan .delta.와 C의 변화에 대하여 연구하였다. 측정온도 25.deg.C, 측정주파수 1KHz에서 1MHz의 범위에서 PPMMA 박막은 CO와 -OH같은 산화물의 생성으로 인하여 tan .delta. 와 C는 증가하고 tan .delta.는 측정주파수 내에서 피이크를 형성한다. 이는 PPMMA내에 잔류하는 저분자량 성분과 자유라디칼의 존재와 공기중에서의 산화가 그 원인이라 할 수 있다. 본연구에서는 PPMMA박마그이 열처리 및 플라즈마처리를 하여 저분자량 성분과 라디칼을 제거하고 산화를 방지하여 박막의 유전특성을 개선하였다.
Keywords