한국광학회지 (Korean Journal of Optics and Photonics)
- 제1권1호
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- Pages.33-39
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- 1990
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- 1225-6285(pISSN)
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- 2287-321X(eISSN)
방전여기 KrF 레이저의 완충가스 영향에 대한 이론 해석
Theoretical Analysis of Buffer Gas Effects of a Discharge Excited KrF Laser
초록
방전여기 방식의 KrF 엑사이머 레이저의 컴퓨터 시뮬레이션 프로그램을 개발하여 방전 중의
By developing a computer simulation code for discharge excited KrF excimer laser, we analyzed mainly the effects of buffer gas for the
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