Electronics and Telecommunications Trends (전자통신동향분석)
- Volume 4 Issue 4
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- Pages.98-107
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- 1989
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- 1225-6455(pISSN)
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Si결정에서의 격자결함의 특성 및 고분해능 투과전자현미경에 의한 격자상
- Published : 1989.12.31
Abstract
실제의 결정은 이상적인 결정과는 달리 결함(imperfection or defect)들을 포함하고 있다. 본고에서는 이들 여러가지 결함들 중 격자 결함들에 국한해서, 그 기본적인 특성과 Si 격자에서의 이들 결함들의 구조를 살펴보고, 이것들을 고분해능 전자현미경(High Resolution Transmission Electron Microscopy ; HRTEM or HREM)으로 관찰했을 때, HRTEM의 탈초점 (defocus)에 따른 결함 상(image)의 성질의 변화와 함께 상 특성과 격자구조와의 관계를 살펴보았다.
Keywords