ETRI Journal
- Volume 11 Issue 4
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- Pages.128-138
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- 1989
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- 1225-6463(pISSN)
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- 2233-7326(eISSN)
Excimer Laser를 이용한 노광기술-I. 광노광 기술의 추이 및 성능개선방안
Abstract
광을 이용한 축소투영 노광기술은 고 NA와 단파장화에 의하여 현재
Keywords
광을 이용한 축소투영 노광기술은 고 NA와 단파장화에 의하여 현재