ETRI Journal
- Volume 11 Issue 3
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- Pages.65-72
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- 1989
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- 1225-6463(pISSN)
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- 2233-7326(eISSN)
반도체 소자의 투과 전자 현미경(TEM) 관찰을 위한 단면 시료 제작 기술
- Published : 1989.10.01
Abstract
투과 전자 현미경 (Transmission Electron Microscope : TEM))의 단면 시료 관찰은 반도체 소자의 미세화에 따른 공정 평가, failure analysis 분야에 최근 많이 사용되고 있으나 TEM관찰을 위한 반도체 소자의 시료 제작 기술이 반도체 재료의 특성상 매우 어렵기 때문에 만족할만한 연구 성과가 미흡한 실정이다. 여기에서는 확산 공정 기술 개발에 따른 시료의 TEM 관찰에 필요한 단면 관찰용 시료 제작 기술에 대한 연구 결과를 정리 하였다.
Keywords