ETRI Journal
- Volume 11 Issue 1
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- Pages.89-96
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- 1989
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- 1225-6463(pISSN)
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- 2233-7326(eISSN)
$C_2F_6$ /$CHF_3$ 반응성이온 건식식각 공정시 실리콘 표면에 생성된 잔류막과 표면구조의 연구
- Published : 1989.04.01
Abstract
Keywords