Global Coordinate Extraction of IC Chip Pattern Using Form Matching

형태정합을 이용한 집적회로 패턴의 전체좌표 추출

IC chip layout pattern recognition algorithms using image processing techniques are being developed for the automation of manufacturing and inspecting chips. Recognitioin of chip pattern requires feature extraction from nach rrame of chip image adn needs to match the feature data through all frames. In this paper, vertex position and form having layout information are extracted by the feature straightening algorithm, and global coordinates of layout pattern are extracted by the feature straightening algorithm, and global coordinates of layout pattern are obtainnd by vertex form matching from the overlapped area of neighbour frame.

최근 집적도의 증가와 더불어 집적회로 제작과 점검을 자동화하기 위하여 영상처리방법을 이용한 집적회로의 인식 알고리듬이 개발되고 있다. 집적회로를 인식하기 위해서는 프레임 영상으로 부터 특징을 얻고 이것으로써 칩내의 모든 프레임 영상을 정합하여야한다. 본 논문은 layout 정보를 나타내는 꼭지점들의 위치와 형태를 직선화 알고리듬을 이용하여 추출한다. 부분적으로 겹치는 이웃 프레임들을 얻어진 꼭지점의 위치와 형태를 특징으로 하여 정합함으로써 꼭지점의 전체적 좌표와 형태를 추출한다.