BICMOS게이트 어레이 구성에 쓰이는 소자의 제작 및 특성에 관한 연구

A Study on the Process & Device Characteristics of BICMOS Gate Array

본 논문에서는 BICMOS 게이트 어레이 시스템 구성시 내부의 논리회로 부분은 CMOS 소자로 입출력부는 바이폴라 소자를 이용할 수 있는 공정과 소자 개발을 하고자 하였다. BICMOS게이트 어레이 공정은 폴리게이트 p-well CMOS 공정을 기본으로 하였고, 소자설계의 기본개념은 공정흐름을 복잡하지 않게 하면서 바이폴라, CMOS 소자 각각의 특성을 좋게 하는데 두었다. 시험결과로서, npn1 트랜지스터의 hFE 특성은 120(Ic=1mA) 정도이고, CMOS 소자에서는 n-채널과 p-채널이 각각 1.25um, 1.35um 까지는 short channel effect 현상이 나타나지 않았고, 41stage ring oscillator의 게이트당 delay 시간은 0.8ns이었다.

In this paper, BICMOS gate array technology that has CMOS devices for logic applications and bipolar devices for driver applications is presented. An optimized poly gate p-well CMOS process is chosen to fabricate the BICMOS gate array system and the basic concepts to design these devices are to improve the characteristics of bipolar & CMOS device with simple process technology. As the results hFE value is 120(Ic=1mA) for transistor, and there is no short channel effects for CMOS devices which have Leff to 1.25um and 1.35um for n-channel, respectively, 0.8nx gate delay time of 41 stage ring oscillators is obtained.