대한설비공학회지:설비저널 (The Magazine of the Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea)
- 제18권2호
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- Pages.130-137
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- 1989
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- 1229-6430(pISSN)
CLASS 1 초청정장치 개발
Developement of Class 1 Clean Room Devices
초록
본 논문은 1. 초청정기술의 현황, 2. 초청정장치의 요소기술, 3. 초청정장치의 개요, 4. 국부청정실의 기본계획에 대해 기술하고 있다. 1. 초청정기술의 현황에서는, 본 연구수행의 방향설정을 위해 미국과 일본의 관련 학
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