CLASS 1 초청정장치 개발

Developement of Class 1 Clean Room Devices

본 논문은 1. 초청정기술의 현황, 2. 초청정장치의 요소기술, 3. 초청정장치의 개요, 4. 국부청정실의 기본계획에 대해 기술하고 있다. 1. 초청정기술의 현황에서는, 본 연구수행의 방향설정을 위해 미국과 일본의 관련 학${\cdot}$협회의 동향 및 최근에 발표된 논문에 근거한 초청정기술의 연구경향과 과제 등을 파악 분석했다. 2. 초청정장치의 요소기술에서는, 초청정장치 개발에 필요한 미립자제거, 환경조건과 오염제어 기술을 확립하기 위해, Filter와 System Ceiling 방식, 온${\cdot}$습도, 진동, 정전기제어 기술에 관한 문제점과 대책에 대해 검토했다. 3. 초청정장치의 개요에서는, 초청정장치로써 대표적인 클린벤취의 관련규격, 설계요점 등을 검토하여 설계를 위한 기초자료로 삼았다. 4. 국부청정실의 기본계획에서는 상기의 요소기술과 기초자료에 근거하여 본 연구를 수행하기 위한 Line 형의 클린터널 유닛의 기본계획을 수립했다.