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GaAs DIC 기술동향

  • Published : 1988.12.31

Abstract

본 고에서는 GaAs DIC (Digital Integrated Circuits)의 최근 연구경향을 공정기술을 중심으로 소개한다. GaAs DIC의 역사, 공정, 설계, 집적도에 대하여 살펴봄으로써 초고속 GaAs DIC 개발의 향후 방향을 모색하고자 한다. 본 고는 1987년 SPIE지에 게재된 일본 NTT연구소의 Hirayama와 Ikegami의 논문 내용을 중심으로 편역한 것이다.

Keywords