Electronics and Telecommunications Trends (전자통신동향분석)
- Volume 3 Issue 2
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- Pages.37-56
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- 1988
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- 1225-6455(pISSN)
DOI QR Code
ECR 플라즈마를 이용한 반도체 공정기술
- Published : 1988.07.01
Abstract
ECR 플라즈마는 활성도가 크고 지향성이 강한 고에너지 빔으로서, 고속.고정밀.고 선택비의 식각공정과, 저온.저손상.고 평탄화의 증착공정, 3차원 구조에도 불순물을 원하는 깊이만큼 도우핑할 수 있는 불순물 주입공정 등에 폭넓게 응용될 수 있다.
Keywords