ETRI Journal

Electronics and Telecommunications Research Institute (한국전자통신연구원)
권호 표지

MIS소자의 절연박막

  • Published : 1988.07.01
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Abstract

반도체 소자가 계속 축소되어 ULSI 시대를 맞이함에 따라 얇은 절연막의 필요성이 대두되었고, 따라서 고신뢰도를 갖는 절연박막 개발과 그 절연막에 대한 평가 기술개발에 많은 관심이 집중되었다. 본고에서는 최근 연구되고 있는 절연박막의 종류와 그 특성, 절연막 평가 방법에 대해 고찰하였다.

Keywords