Review on recent ion-plating system for an industrial use

최근 산업용 Ion Plating 장비에 관한 고찰

  • 권식철 (한국 기계연구소 표면 공학실) ;
  • 유명철 (한국 기계연구소 표면 공학실) ;
  • 백운승 (한국 기계연구소 표면 공학실)
  • Published : 1988.06.01