GaAs 위에 Sputter 증착된 텅스텐 박막의 열처리 조건에 따른 물리적 전기적 특성

• Lee, Jong-Ram ;
• Lee, Chang-Seok ;
• Park, Hyeong-Mu ;
• Ma, Dong-Seong

• 이종람 (기반기술연구부 신소자재료 연구실) ;
• 이창석 (화합물 반도체 연구실) ;
• 박형무 (화합물 반도체) ;
• 마동성 (기반기술연구부)

• Published : 1987.10.01

• PDF