ETRI Journal

Electronics and Telecommunications Research Institute (한국전자통신연구원)
권호 표지

짧은 채널 효과를 감소시키기 위한 이온주입 변수의 조절

  • 유종선 (기억소자개발사업본부 공정개발실) ;
  • 김여환 (집적회로개발부 통신소자개발실)
  • Published : 1987.03.01
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Abstract

짧은 채널($L<1\mum$) MOSFET의 전기적 변수, 특히 문턱전압(threshold voltage)을 최적화시키기 위하여 분석적 문턱전압 모델을 개발하였다. 채널 영역에서의 붕소profile은 계단 (step) profile로 근사시켜 표면전하층과 기판전하층으로 구성하였다. 최대공핍층내에 있는 두 전하층의 각각에 대하여 기하학적으로 근사시킨 전하분배(charge sharing)모델을 적용하고 이차원적 분석을 이용하여 짧은 채널 효과를 계산하였다. 본 모델을 실험치와 비교하고 이온주입 공정의 최적조건을 이끌어내는 데 필요한 변수에 대하여 논의하였다.

Keywords